圆管蚀刻机的操作流程可分为以下关键步骤，需结合化学蚀刻与机械加工特性。
一、预处理阶段
材料检验
检查圆管表面是否存在划痕或氧化层，不锈钢管需确保铬含量≥16%以保障耐蚀性。
静电除尘
使用离子风表面颗粒（粒径＞0.5μm的灰尘需），避免光刻胶涂覆缺陷。
二、图案转移
掩膜制作
湿法工艺：喷涂感光油后紫外曝光（能量密度15-20mJ/cm2），显影形成抗蚀刻图案
干法工艺：采用喷墨印刷直接生成掩膜层，线宽精度可达±0.01mm
封边处理
圆管端部需用耐酸胶带密封，防止蚀刻液渗入内壁
三、后处理
中和清洗
先用5%NaCO溶液中和残留酸液，再经超声波清洗（频率40kHz）蚀刻渣
表面钝化
不锈钢管需硝酸钝化处理（浓度20%，温度50℃）以恢复耐腐蚀性
规范
操作人员穿戴防酸手套（丁基橡胶材质）和护目镜
废液需单独收集，含铜废液与含铁废液不得混合存储
注：对于高精度要求的管件，建议采用干法等离子蚀刻（如CF气体），侧壁垂直度可达89°±0.5°。
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